真空蒸着・スパッタリング

名阪真空工業の原点、真空蒸着とスパッタリング技術

ハイテク・ナノテクから生まれたMSKの生産技術

MSKでは真空蒸着やスパッタリングにより、
プラスチック・ガラスの表面に特殊な成膜を行っております。

真空蒸着

真空中で材料物質を加熱して蒸発或いは昇華させ、その蒸気を凝縮・析出させることにより薄膜を形成する手法が真空蒸着法です。金属を大気中で加熱してしまうと酸化してボロボロになってしまいます

又、特殊な機械を使った真空中ではほこりなどの不純物がなく、金属の飛びも直進性を持つので綺麗に、そして均等に仕上がります。蒸着材料にはガラスやチタンなど様々な物が使えます

プラスチックへの表面処理

反射防止膜(AR)

0.5%以下の低反射特性と高い光透過性を実現。用途別に反射率波長特性のカスタマイズも可能です。また、再表面へAFコートを付与することも可能です。

誘電体多層膜ミラー

屈折率の異なる誘電体を積層成膜することで、任意の反射率波長特性を得ることができます。金属膜と異なり、光の吸収がないため高い反射率(透過率との両立)が得られるのが特徴です。

金属膜ミラー

アルミ・ニッケル・クロム等の金属を成膜し、高い密着性を有したミラーです。微細な膜厚コントロールによりフルミラーからハーフミラーまで成膜可能です。

NCVM(非導電)
ミラー

ミラー感を持ちながら非導電性で、電波や静電容量タッチパネルの反応に影響を及ぼさない金属膜が成膜可能です。

ガラスの表面処理

反射防止膜(AR)

0.5%以下の低反射特性と高い光透過性を実現。用途別に反射率波長特性のカスタマイズも可能です。また、再表面へAFコートを付与することも可能です。

誘電体多層膜ミラー

屈折率の異なる誘電体を積層成膜することで、任意の反射率波長特性を得ることができます。金属膜と異なり、光の吸収がないため高い反射率(透過率との両立)が得られるのが特徴です。

金属膜ミラー

アルミ・クロム・銅等の金属を成膜し、高い密着性を有したミラーです。微細な膜厚コントロールによりフルミラーからハーフミラーまで成膜可能です。

ITO

液晶ディスプレイには必要不可欠な透明導電膜を様々な用途に合わせ、低抵抗、高透明、耐久性、均一性に優れた成膜が可能です。

電極用メタル膜

豊富なメタル膜のバリエーションによりタッチパネルやFPD関連の引き出し配線や電極に適した金属膜を成膜することができます。

他、製品情報はこちら

名阪真空工業独自のコーティング技術と素材を組み合わせた高機能シートやオリジナルの光学用途向け薄型プラスチックシート/フィルム

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